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華芯晶電取得一種用于磷化銦晶片自動清洗用噴淋控制系統(tǒng)及方法專利

2024年11月25日,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,青島華芯晶電科技有限公司取得一項名為“一種用于磷化銦晶片自動清洗用噴淋控制系統(tǒng)及方法”的專利,授權(quán)公告號CN118782460B,申請日期為2024年9月。

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