包頭美科硅能源申請磷銻共摻摻雜工藝方法專利
2024-11-11 09:47
來源：我的鋼鐵網(wǎng)
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2024年11月9日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，包頭美科硅能源有限公司申請一項名為“一種磷銻共摻摻雜工藝方法”的專利，公開號CN118910724A，申請日期為2024年7月。專利摘要顯示，本發(fā)明涉及單晶硅制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種磷銻共摻摻雜工藝方法。包括加料摻雜和裝置補摻；所述加料摻雜為爐臺正常加料時加摻；所述裝置補摻為爐臺不加料時補摻；所述加料摻雜為先根據(jù)頭部目標(biāo)電阻計算銻金屬和磷金屬摻雜量，再進(jìn)行加摻；所述裝置補摻為先根據(jù)補摻公式計算銻合金補摻量再使用摻雜裝置補摻本發(fā)明通過磷銻摻雜金屬共同補償，前期銻金屬主導(dǎo)影響電阻率，后期銻金屬揮發(fā)，磷金屬電阻補償實現(xiàn)電阻率一致性，最終電阻率可實現(xiàn)頭尾電阻率差異在0.1Ω之間，提升硅片效率。
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資訊投訴：陳躍進(jìn) 021-26093100
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